Teknologi perpipaan gas dengan kemurnian tinggi merupakan bagian penting dari sistem pasokan gas dengan kemurnian tinggi, yang merupakan teknologi kunci untuk mengantarkan gas dengan kemurnian tinggi yang dibutuhkan ke titik penggunaan dan tetap mempertahankan kualitas yang memenuhi syarat;Teknologi perpipaan gas dengan kemurnian tinggi mencakup desain sistem yang benar, pemilihan fiting dan aksesori, konstruksi dan pemasangan, serta pengujian.Dalam beberapa tahun terakhir, persyaratan yang semakin ketat pada kandungan kemurnian dan ketidakmurnian gas dengan kemurnian tinggi dalam produksi produk mikroelektronika yang diwakili oleh sirkuit terpadu berskala besar telah membuat teknologi perpipaan gas dengan kemurnian tinggi semakin diperhatikan dan ditekankan.Berikut ini adalah ikhtisar singkat tentang perpipaan gas dengan kemurnian tinggi dari pemilihan materialof konstruksi, serta penerimaan dan manajemen harian.
Jenis gas umum
Klasifikasi gas umum dalam industri elektronik：
Gas umum（Gas curah）: hidrogen (H2), nitrogen (N2), oksigen (O2), argon (A2), dll.
Gas khususadalah SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,BERSAMA,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… dll.
Jenis gas khusus umumnya dapat diklasifikasikan sebagai korosifgas, beracungas, mudah terbakargas, mudah terbakargas, lembamgas, dll. Gas semikonduktor yang umum digunakan umumnya diklasifikasikan sebagai berikut.
(i) Korosif / beracungas: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, kl2, BCl3…dll.
(ii) Sifat mudah terbakargas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO…dst.
(iii) mudah terbakargas: O2, kl2, N2O, NF3… dll.
(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Dia…dst.
Banyak gas semikonduktor berbahaya bagi tubuh manusia.Secara khusus, beberapa gas ini, seperti SiH4 pembakaran spontan, selama kebocoran akan bereaksi hebat dengan oksigen di udara dan mulai terbakar;dan AsH3sangat beracun, setiap kebocoran kecil dapat menyebabkan risiko kehidupan manusia, karena bahaya yang jelas ini, sehingga persyaratan keamanan desain sistem sangat tinggi.
Ruang lingkup aplikasi gas
Sebagai bahan baku dasar penting industri modern, produk gas banyak digunakan, dan sejumlah besar gas biasa atau gas khusus digunakan dalam metalurgi, baja, minyak bumi, industri kimia, mesin, elektronik, kaca, keramik, bahan bangunan, konstruksi , pengolahan makanan, obat-obatan dan sektor medis.Penerapan gas memiliki dampak penting khususnya pada teknologi tinggi bidang-bidang ini, dan merupakan gas bahan mentah atau gas proses yang sangat diperlukan.Hanya dengan kebutuhan dan promosi berbagai sektor industri baru serta ilmu pengetahuan dan teknologi modern, produk industri gas dapat dikembangkan dengan pesat baik dari segi ragam, kualitas maupun kuantitas.
Aplikasi gas dalam industri mikroelektronika dan semikonduktor
Penggunaan gas selalu memainkan peran penting dalam proses semikonduktor, terutama proses semikonduktor telah banyak digunakan di berbagai industri, mulai dari ULSI tradisional, TFT-LCD hingga industri mikro-elektro-mekanis (MEMS) saat ini, semuanya yang menggunakan apa yang disebut proses semikonduktor sebagai proses pembuatan produk.Kemurnian gas memiliki dampak yang menentukan pada kinerja komponen dan hasil produk, dan keamanan pasokan gas terkait dengan kesehatan personel dan keselamatan operasi pabrik.
Pentingnya pemipaan dengan kemurnian tinggi dalam pengangkutan gas dengan kemurnian tinggi
Dalam proses peleburan dan pembuatan bahan stainless steel, sekitar 200g gas dapat diserap per ton.Setelah pengolahan baja tahan karat, tidak hanya permukaannya yang lengket dengan berbagai kontaminan, tetapi juga dalam kisi logamnya juga menyerap sejumlah gas.Ketika ada aliran udara melalui pipa, logam yang menyerap bagian gas ini akan masuk kembali ke aliran udara, mencemari gas murni.Ketika aliran udara dalam tabung adalah aliran terputus-putus, tabung menyerap gas di bawah tekanan, dan ketika aliran udara berhenti lewat, gas yang diserap oleh tabung membentuk penurunan tekanan untuk diselesaikan, dan gas yang diselesaikan juga memasuki gas murni di dalam tabung. sebagai pengotor.Pada saat yang sama, adsorpsi dan resolusi diulangi, sehingga logam pada permukaan bagian dalam tabung juga menghasilkan sejumlah bubuk, dan partikel debu logam ini juga mencemari gas murni di dalam tabung.Karakteristik tabung ini sangat penting untuk memastikan kemurnian gas yang diangkut, yang tidak hanya membutuhkan kehalusan permukaan bagian dalam tabung yang sangat tinggi, tetapi juga ketahanan aus yang tinggi.
Ketika gas dengan kinerja korosif yang kuat digunakan, pipa baja tahan karat harus digunakan untuk perpipaan.Jika tidak, pipa akan menghasilkan bintik-bintik korosi pada permukaan bagian dalam akibat korosi, dan dalam kasus yang serius, akan ada area pengupasan logam yang luas atau bahkan perforasi, yang akan mencemari gas murni yang didistribusikan.
Sambungan pipa transmisi dan distribusi gas dengan kemurnian tinggi dan kebersihan tinggi dengan laju aliran yang besar.
Pada prinsipnya, semuanya dilas, dan tabung yang digunakan harus tidak mengalami perubahan organisasi saat pengelasan diterapkan.Bahan dengan kandungan karbon yang terlalu tinggi tunduk pada permeabilitas udara dari bagian yang dilas selama pengelasan, yang membuat gas saling menembus di dalam dan di luar pipa dan menghancurkan kemurnian, kekeringan dan kebersihan gas yang ditransmisikan, mengakibatkan hilangnya semua usaha kita.
Singkatnya, untuk gas dengan kemurnian tinggi dan pipa transmisi gas khusus, perlu menggunakan perlakuan khusus dari pipa baja tahan karat dengan kemurnian tinggi, untuk membuat sistem pipa dengan kemurnian tinggi (termasuk pipa, perlengkapan, katup, VMB, VMP) di distribusi gas kemurnian tinggi menempati misi penting.
Konsep umum teknologi bersih untuk jaringan pipa transmisi dan distribusi
Transmisi badan gas yang sangat murni dan bersih dengan perpipaan berarti ada persyaratan atau kontrol tertentu untuk tiga aspek gas yang akan diangkut.
Kemurnian gas: Kandungan pengotor atmosfir dalam gGas kemurnian: Kandungan pengotor atmosfir dalam gas, biasanya dinyatakan sebagai persentase kemurnian gas, seperti 99,9999%, juga dinyatakan sebagai rasio volume pengotor kandungan atmosfir ppm, ppb, ppt.
Kekeringan: jumlah jejak uap air dalam gas, atau jumlah yang disebut kebasahan, biasanya dinyatakan dalam titik embun, seperti titik embun tekanan atmosfer -70.C.
Kebersihan: jumlah partikel kontaminan yang terkandung dalam gas, ukuran partikel µm, berapa banyak partikel/M3 yang dinyatakan, untuk udara tekan, biasanya juga dinyatakan dalam berapa mg/m3 residu padat yang tidak dapat dihindari, yang meliputi kandungan minyak .
Klasifikasi ukuran polutan: partikel polutan, terutama mengacu pada gerusan pipa, keausan, korosi yang dihasilkan oleh partikel logam, partikel jelaga atmosfer, serta mikroorganisme, fag dan tetesan kondensasi gas yang mengandung uap air, dll., Sesuai dengan ukuran ukuran partikelnya dibagi menjadi
a) Partikel besar – ukuran partikel di atas 5μm
b) Partikel – diameter material antara 0,1μm-5μm
c) Partikel ultra-mikro – ukuran partikel kurang dari 0,1μm.
Untuk meningkatkan penerapan teknologi ini, untuk dapat memahami secara perseptual ukuran partikel dan unit μm, satu set status partikel tertentu disediakan untuk referensi.
Berikut ini adalah perbandingan partikel tertentu
| Nama / Ukuran partikel (µm) | Nama / Ukuran partikel (µm) | Nama/ Ukuran partikel (µm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosol 0,03-1 | Mikrodroplet aerosol 1-12 |
| Bahan bakar nuklir 0,01-0,1 | Cat 0,1-6 | Abu terbang 1-200 |
| Karbon hitam 0,01-0,3 | Susu bubuk 0,1-10 | Pestisida 5-10 |
| Damar 0,01-1 | Bakteri 0,3-30 | Debu semen 5-100 |
| Asap rokok 0,01-1 | Debu pasir 0,5-5 | Serbuk sari 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pestisida 0,5-10 | Rambut manusia 50-120 |
| Garam mengkristal 0,03-0,5 | Debu belerang pekat 1-11 | Pasir laut 100-1200 |
Waktu posting: Jun-14-2022