Teknologi perpipaan gas dengan kemurnian tinggi adalah bagian penting dari sistem pasokan gas dengan kemurnian tinggi, yang merupakan teknologi utama untuk memberikan gas dengan kemurnian tinggi yang diperlukan hingga titik penggunaan dan tetap mempertahankan kualitas yang memenuhi syarat; Teknologi perpipaan gas dengan kemurnian tinggi mencakup desain sistem yang benar, pemilihan alat kelengkapan dan aksesori, konstruksi dan pemasangan, dan pengujian. Dalam beberapa tahun terakhir, persyaratan yang semakin ketat tentang kemurnian dan kandungan pengotor gas dengan kemurnian tinggi dalam produksi produk mikroelektronika yang diwakili oleh sirkuit terintegrasi skala besar telah membuat teknologi perpipaan gas dengan kemurnian tinggi semakin prihatin dan ditekankan. Berikut ini adalah gambaran singkat tentang perpipaan gas dengan kemurnian tinggi dari pemilihan materialof konstruksi, serta penerimaan dan manajemen harian.
Jenis Gas Umum
Klasifikasi Gas Umum di Industri Elektronik：
Gas umum（Gas curah）: Hidrogen (h2), nitrogen (n2), oksigen (o2), argon (a2), dll.
Gas khususadalah sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,Clf3 ,BERSAMA,C2F6, N2o,F2,Hf,HBR SF6…… dll.
Jenis gas khusus umumnya dapat diklasifikasikan sebagai korosifgas, beracungas, mudah terbakargas, mudah terbakargas, lembamgas, dll. Gas semikonduktor yang umum digunakan umumnya diklasifikasikan sebagai berikut.
(i) korosif / beracungas: Hcl, bf3, Wf6, HBR, Sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3…dll.
(ii) Kemampuan terbakargas: H2, Ch4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch3F, CO… dll.
(iii )bilitas terbakargas: O2, Cl2, N2O, nf3… dll.
(iv) lembamgas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, NE, KR, dia ... dll.
Banyak gas semikonduktor berbahaya bagi tubuh manusia. Secara khusus, beberapa gas ini, seperti SIH4 Pembakaran spontan, selama kebocoran akan bereaksi keras dengan oksigen di udara dan mulai terbakar; dan Ash3Sangat beracun, sedikit kebocoran dapat menyebabkan risiko kehidupan manusia, itu karena bahaya yang jelas ini, sehingga persyaratan untuk keamanan desain sistem sangat tinggi.
Lingkup aplikasi gas
Sebagai bahan baku dasar yang penting dari industri modern, produk gas banyak digunakan, dan sejumlah besar gas umum atau gas khusus digunakan dalam metalurgi, baja, minyak bumi, industri kimia, mesin, elektronik, kaca, keramik, bahan bangunan, konstruksi, pengolahan makanan, obat -obatan dan sektor medis. Penerapan gas memiliki dampak penting pada teknologi tinggi bidang -bidang ini pada khususnya, dan merupakan gas bahan baku yang sangat diperlukan atau gas proses. Hanya dengan kebutuhan dan promosi berbagai sektor industri baru dan sains dan teknologi modern, produk -produk industri gas dapat dikembangkan dengan lompatan dalam hal variasi, kualitas dan kuantitas.
Aplikasi Gas dalam Industri Mikroelektronika dan Semikonduktor
Penggunaan gas selalu memainkan peran penting dalam proses semikonduktor, terutama proses semikonduktor telah banyak digunakan di berbagai industri, dari ULSI tradisional, TFT-LCD hingga industri mikro-elektro-mekanis (MEMS) saat ini, yang semuanya menggunakan proses semikonduktor sebagai proses pembuatan produk. Kemurnian gas memiliki dampak yang menentukan pada kinerja komponen dan hasil produk, dan keselamatan pasokan gas terkait dengan kesehatan personel dan keamanan operasi pabrik.
Pentingnya perpipaan dengan kemurnian tinggi dalam transportasi gas dengan kemurnian tinggi
Dalam proses pencairan stainless steel dan pembuatan bahan, sekitar 200 g gas dapat diserap per ton. Setelah pemrosesan baja tahan karat, tidak hanya permukaannya lengket dengan berbagai kontaminan, tetapi juga di kisi logamnya juga menyerap sejumlah gas. Ketika ada aliran udara melalui pipa, logam menyerap bagian gas ini akan masuk kembali ke aliran udara, mencemari gas murni. Ketika aliran udara dalam tabung adalah aliran terputus, tabung menyerap gas di bawah tekanan, dan ketika aliran udara berhenti lewat, gas yang diadsorpsi oleh tabung membentuk penurunan tekanan untuk menyelesaikan, dan gas yang diselesaikan juga memasuki gas murni dalam tabung sebagai ketidaksopanan. Pada saat yang sama, adsorpsi dan resolusi diulang, sehingga logam pada permukaan bagian dalam tabung juga menghasilkan sejumlah bubuk, dan partikel debu logam ini juga mencemari gas murni di dalam tabung. Karakteristik tabung ini sangat penting untuk memastikan kemurnian gas yang diangkut, yang tidak hanya membutuhkan kehalusan permukaan bagian dalam tabung yang sangat tinggi, tetapi juga ketahanan aus yang tinggi.
Ketika gas dengan kinerja korosif yang kuat digunakan, pipa stainless steel tahan korosi harus digunakan untuk perpipaan. Kalau tidak, pipa akan menghasilkan bintik -bintik korosi pada permukaan bagian dalam karena korosi, dan dalam kasus serius, akan ada luas pengupasan logam atau bahkan perforasi, yang akan mencemari gas murni yang akan didistribusikan.
Koneksi pipa-pipa dengan kemurnian tinggi dan pembersihan tinggi dan pipa distribusi dari laju aliran besar.
Pada prinsipnya, semuanya dilas, dan tabung yang digunakan diperlukan untuk tidak memiliki perubahan dalam organisasi ketika pengelasan diterapkan. Bahan dengan kandungan karbon yang terlalu tinggi tunduk pada permeabilitas udara dari bagian -bagian yang dilas saat pengelasan, yang membuat penetrasi timbal balik gas di dalam dan di luar pipa dan menghancurkan kemurnian, kekeringan dan kebersihan gas yang ditransmisikan, yang mengakibatkan hilangnya semua upaya kami.
Singkatnya, untuk pipa transmisi gas dan gas khusus, perlu untuk menggunakan perlakuan khusus pipa stainless steel dengan kemurnian tinggi, untuk membuat sistem pipa dengan kemurnian tinggi (termasuk pipa, fitting, katup, VMB, VMP) dalam distribusi gas dengan kemurnian tinggi menempati misi vital.
Konsep Umum Teknologi Bersih untuk Palangan Jaringan dan Distribusi Distribusi
Transmisi tubuh gas yang sangat murni dan bersih dengan perpipaan berarti ada persyaratan atau kontrol tertentu untuk tiga aspek gas yang akan diangkut.
Kemurnian gas: Kandungan atmosfer pengotor dalam kemurnian GGA: kandungan atmosfer pengotor dalam gas, biasanya dinyatakan sebagai persentase kemurnian gas, seperti 99,9999%, juga dinyatakan sebagai rasio volume kandungan atmosfer pengotor PPM, PPB, PPT.
Kekeringan: Jumlah kelembaban jejak dalam gas, atau jumlah yang disebut basah, biasanya dinyatakan dalam titik embun, seperti titik embun tekanan atmosfer -70. C.
Kebersihan: Jumlah partikel kontaminan yang terkandung dalam gas, ukuran partikel μm, berapa banyak partikel/m3 untuk mengekspresikan, untuk udara terkompresi, biasanya juga diekspresikan dalam hal berapa mg/m3 residu padat yang tidak dapat dihindari, yang menutupi kadar minyak.
Klasifikasi ukuran polutan: Partikel polutan, terutama mengacu pada penggosok pipa, keausan, korosi yang dihasilkan oleh partikel logam, partikel jelaga atmosfer, serta mikroorganisme, fag dan tetesan kondensasi gas yang mengandung kelembaban, dll.
A) Partikel besar - Ukuran partikel di atas 5μm
b) Partikel-Diameter material antara 0,1μm-5μm
c) Partikel ultra-micro-ukuran partikel kurang dari 0,1μm.
Untuk meningkatkan penerapan teknologi ini, untuk dapat persepsi pemahaman tentang ukuran partikel dan unit μm, satu set status partikel spesifik disediakan untuk referensi
Berikut ini adalah perbandingan partikel tertentu
| Ukuran Nama /Partikel (μm) | Ukuran Nama /Partikel (μm) | Nama/ ukuran partikel (μm) |
| Virus 0,003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Mikrodroplet aerosol 1-12 |
| Bahan Bakar Nuklir 0,01-0.1 | Cat 0,1-6 | Fly Ash 1-200 |
| Karbon hitam 0,01-0,3 | Susu bubuk 0,1-10 | Pestisida 5-10 |
| Resin 0,01-1 | Bakteri 0,3-30 | Debu semen 5-100 |
| Asap rokok 0,01-1 | Debu pasir 0,5-5 | Serbuk sari 10-15 |
| Silikon 0,02-0.1 | Pestisida 0,5-10 | Rambut manusia 50-120 |
| Garam terkristalisasi 0,03-0,5 | Debu belerang terkonsentrasi 1-11 | Pasir Laut 100-1200 |
Waktu posting: Jun-14-2022