Proses produksi gas khusus elektronik mencakup beberapa proses seperti sintesis, pemurnian, pengisian, analisis dan pengujian, pencampuran dan proporsional. Untuk memenuhi persyaratan manufaktur semikonduktor hilir untuk kemurnian dan konten pengotor, proses pemurnian sangat penting. Bergantung pada komposisi gas sintesis hulu atau gas mentah, distilasi suhu rendah atau pemurnian multi-tahap dilakukan.
Persyaratan kebersihan yang tinggi
Proses persiapan gas khusus elektronik dapat dibagi menjadi dua blok utama persiapan sintesis hulu dan pemurnian, yang termasuk dalam proses produksi kimia. Ukuran pipa produksi besar, dan tidak ada persyaratan tingkat kebersihan khusus. Setelah pemurnian hilir, produk diisi dengan gas dan dicampur untuk persiapan. Pipa produksi kecil dan memiliki persyaratan tingkat kebersihan. Perlu memenuhi spesifikasi standar proses pembuatan semikonduktor.
Persyaratan penyegelan tinggi
Karena aktivitas kimianya, gas khusus elektronik juga menempatkan tuntutan tinggi pada bahan dan penyegelan sistem proses produksi. Sama seperti persyaratan manufaktur semikonduktor, ini mencegah kebocoran antarmuka yang disebabkan oleh pengenalan kotoran atau korosi gas khusus. Sistem ini juga dapat digunakan untuk mencegah pengenalan kotoran atau kebocoran antarmuka yang disebabkan oleh korosi gas khusus.
Persyaratan stabilitas berkualitas tinggi
Kualitas gas khusus elektronik mencakup sejumlah indikator seperti kemurnian dan kandungan partikel pengotor. Setiap perubahan dalam indikator akan mempengaruhi hasil dari proses pembuatan semikonduktor hilir. Oleh karena itu, untuk memastikan konsistensi indikator produk gas khusus elektronik, sistem proses persiapan untuk mengontrol stabilitas indikator juga sangat penting.
Karena aktivitas kimia dan persyaratan kualitas EGP, sistem produksi untuk persiapan EGP, terutama sistem pemurnian hilir, harus memenuhi persyaratan bahan kemurnian tinggi, penyegelan tinggi, kebersihan tinggi dan konsistensi berkualitas tinggi, dan pembangunan komponen yang direkayasa harus memenuhi standar industri manufaktur semikonduktor.
Apa yang biasa kita sebut sebagai "kemurnian tinggi" secara teoritis definisi kemurnian suatu zat, seperti gas kemurnian tinggi, bahan kimia kemurnian tinggi, dll. Sistem proses atau komponen sistem proses yang diterapkan pada zat-zat dengan kemurnian tinggi juga disebut sebagai kemurnian tinggi, seperti sistem pidato tinggi dan valve dengan purnana tinggi. Sistem persiapan gas khusus elektronik membutuhkan perlengkapan aplikasi kemurnian tinggi, katup, dan komponen cairan lainnya, yaitu, perlengkapan dan katup yang diproses dengan bahan kemurnian tinggi dan proses pembuatan yang bersih, dan disusun untuk pembersihan dan pembersihan yang mudah. Dengan kinerja penyegelan tinggi. Komponen cairan ini dirancang untuk memenuhi jalur aliran proses aplikasi, menggunakan persyaratan rekayasa dan konstruksi industri semikonduktor.
Koneksi perpipaan kemurnian tinggi
Koneksi segel wajah Gasket Logam VCR dan koneksi las pantat otomatis banyak digunakan dalam menuntut persyaratan proses kemurnian sistem fluida karena kemampuan untuk memenuhi kedua transisi jalur aliran yang halus pada koneksi, tidak ada zona stagnasi, dan kinerja penyegelan tinggi. Koneksi VCR membentuk segel permukaan sempit dengan mengekstrusi gasket logam yang relatif lunak. Koneksi yang dapat diulang dan konsisten dan kinerja penyegelan terjamin setiap kali paking cacat dihapus dan diganti.
Tabung dilas menggunakan sistem pengelasan orbital otomatis. Tabung dilindungi oleh gas kemurnian tinggi di dalam dan luar. Elektroda tungsten berputar di sepanjang orbit untuk pengelasan berkualitas tinggi. Pengelasan orbital yang sepenuhnya otomatis melelehkan pipa tanpa memperkenalkan bahan lain, mencapai lasan berkualitas tinggi dengan berulang kali mengendalikan pipa berdinding tipis sulit dicapai dengan pengelasan manual.
Sambungan segel wajah Gasket Logam VCR
Koneksi pengelasan pantat orbital otomatis dari pipa
Katup kemurnian tinggi
Aktivitas kimia gas khusus elektronik yang mudah terbakar, eksplosif, korosif, dan beracun menempatkan tuntutan tinggi pada penyegelan katup. Untuk meningkatkan keandalan penyegelan, persyaratan katup tanpa pengemasan untuk mencegah kebocoran eksternal, yaitu, beralih operasi batang katup dan badan katup antara segel menggunakan bellow logam atau diafragma logam, untuk menghilangkan kebocoran karena abrasi dan kemasan deformasi segel. Katup yang disegel dan diafrag yang disegel biasanya digunakan dalam sistem proses untuk aplikasi kemurnian tinggi karena keandalan segel yang lebih besar dan penggantian pembersihan dan pembersihan yang lebih mudah dari internal katup.
Katup yang disegel bellow adalah konstruksi katup jarum tanpa pengemasan yang memungkinkan regulasi pembukaan dan aliran yang lambat. Digunakan untuk pengisian gas khusus elektronik dengan persyaratan aliran keamanan atau pada botol sumber prekursor dengan persyaratan keamanan tinggi. Segel ujung batang semua-logam memungkinkan suhu operasi yang sangat rendah dan digunakan untuk pencairan kriogenik gas khusus elektronik dalam tangki produk jadi setelah distilasi kriogenik untuk perpipaan.
Katup segel diafragma tanpa pegas adalah katup snap-terbuka 1/4 ″ untuk digunakan sebagai katup switching yang dikendalikan secara otomatis dalam perpipaan pengiriman. Mereka umumnya digunakan dalam aplikasi ultra-tekanan tinggi, kemurnian tinggi karena jalur aliran internal yang sederhana, volume internal kecil, dan kemudahan pembersihan dan penggantian.
Katup yang disegel diafragma yang dekat melalui ujung batang dapat dibuka secara perlahan dan digunakan pada tekanan operasi yang lebih tinggi daripada katup yang disegel diafragma yang tidak disegar. Mereka banyak digunakan pada pengisian gas khusus elektronik bertekanan tinggi atau botol sumber prekursor.
Katup Bellows Seal Sekunder tidak hanya dapat digunakan dalam sistem proses suhu ultra -rendah pada -200 derajat, tetapi juga mencegah kebocoran media berbahaya ke atmosfer. Biasanya digunakan untuk gas khusus elektronik yang sangat berbahaya, seperti sistem pengisian silan.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, dengan lebih dari 10 tahun pengalaman dalam pasokan gas industri dan khusus, bahan, sistem pasokan gas dan rekayasa gas untuk semikonduktor, LED, DRAM, pasar TFT-LCD, kami dapat memberi Anda bahan yang diperlukan untuk mendorong produk Anda ke depan industri. Kami tidak hanya dapat memasok berbagai katup dan perlengkapan untuk gas khusus elektronik semi-konduktor, tetapi kami juga dapat merancang pemasangan gas dan pemasangan peralatan untuk pelanggan kami. Jika Anda memiliki kebutuhan di area ini, silakan hubungi kami di 27919860.
Waktu posting: Jul-19-2023