Ketika pasar semikonduktor tumbuh, standar untuk kemurnian dan akurasi menjadi lebih ketat. Salah satu faktor penentu dalam kualitas manufaktur semikonduktor adalah gas yang digunakan dalam proses tersebut. Gas -gas ini memainkan banyak peran dalam proses pembuatan, termasuk:
Kontrol Proses Presisi
Pencegahan kontaminasi
Peningkatan Properti Metalurgi
Untuk melakukan peran ini secara efektif, sistem pasokan dan distribusi gas harus efisien. Desain sistem penanganan gas yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor harus didukung oleh komponen yang kuat dan rakitan khusus untuk memastikan produksi semikonduktor yang andal dan berkualitas tinggi.
Gas yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor
Proses manufaktur semikonduktor membutuhkan penggunaan gas yang berbeda pada berbagai tahap proses.
Sementara gas umum seperti nitrogen, hidrogen, argon dan helium dapat digunakan dalam bentuk murni, proses tertentu mungkin memerlukan campuran khusus. Silan atau siloksan, heksafluorida, halida dan hidrokarbon adalah beberapa gas khusus yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor. Banyak dari gas ini dapat berbahaya atau sangat reaktif, menciptakan tantangan dalam pemilihan dan desain komponen untuk sistem gas.
Berikut beberapa contoh:
\ Hidrogen dan helium dapat dengan mudah bocor dari sistem perpipaan dan pemasangan karena ukuran dan berat atomnya yang kecil.
\ Silan sangat mudah terbakar dan dapat dibakar secara spontan (autoignite) di udara.
\ Nitrogen difluoride yang digunakan dalam deposisi, etsa dan tahap pembersihan ruang menjadi gas rumah kaca yang kuat ketika bocor ke lingkungan.
\ Hydrogen fluoride (gas etsa) sangat korosif terhadap perpipaan logam.
\ Trimethylgallium dan amonia bisa sulit ditangani - fluktuasi kecil dalam suhu dan persyaratan tekanannya dapat mempengaruhi proses pengendapan.
Mengontrol kondisi proses untuk meminimalkan efek negatif dari gas -gas ini harus menjadi prioritas utama selama desain sistem. Sama pentingnya untuk menggunakan komponen kualitas tertinggi seperti katup diafragma AFK selama proses pembangunan.
Mengatasi tantangan desain sistem
Gas tingkat semikonduktor dalam kebanyakan kasus kemurnian tinggi dan memberikan kondisi inert atau meningkatkan reaksi pada berbagai tahap proses pembuatan, seperti etsa dan gas deposisi. Kebocoran atau kontaminasi gas tersebut dapat memiliki efek negatif. Oleh karena itu, sangat penting untuk komponen sistem yang digunakan untuk tertutup rapat dan tahan korosi serta memiliki permukaan yang halus (pemolesan elektrolitik) untuk memastikan bahwa tidak ada kemungkinan kontaminasi dan bahwa tingkat kebersihan yang sangat tinggi dapat dipertahankan.
Selain itu, beberapa gas ini dapat dipanaskan atau didinginkan untuk mencapai kondisi proses yang diinginkan. Komponen yang terisolasi dengan baik memastikan kontrol suhu, yang sangat penting untuk kinerja produk akhir yang efisien.
Dari saluran masuk sumber hingga titik penggunaan, berbagai komponen AFK mendukung kemurnian, suhu, tekanan dan kontrol aliran yang sangat tinggi yang diperlukan dalam ruang bersih semikonduktor dan ruang vakum.
Sistem yang Dirancang dengan Komponen Kualitas di Semikonduktor Fabs
Peran komponen kualitas dan optimasi desain sangat penting untuk kontrol yang tepat dan pembuatan semikonduktor yang aman. Komponen yang digunakan harus kuat dan bebas bocor untuk mencocokkan berbagai kondisi proses yang diperlukan pada berbagai tahap manufaktur. Katup berkualitas tinggi, alat kelengkapan, regulator, pipa, dan kurung penyegelan dikarakterisasi dengan fitur-fitur berikut:
Kemurnian sangat tinggi
Segel bebas bocor
Isolasi terkontrol suhu
Kontrol tekanan
Resistensi korosi
Perawatan pemolesan elektrolitik
Waktu posting: Oktober-09-2023