Peralatan pengolahan gas ekor dapat menangani gas yang digunakan dalam proses etsa dan proses pengendapan uap kimia di semikonduktor, kristal cair, dan industri energi matahari, termasuk SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, dan SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, dan ON.
Metode Perawatan Gas Buang
Menurut karakteristik perawatan gas buang, pengobatan dapat dibagi menjadi empat jenis pengobatan:
1. Jenis pencucian air (Perawatan gas korosif)
2. Jenis pengoksidasi (berurusan dengan gas yang mudah terbakar dan beracun)
3. Adsorpsi (sesuai dengan jenis bahan adsorpsi untuk menangani gas buang yang sesuai).
4. Jenis pembakaran plasma (semua jenis gas buang dapat diolah).
Setiap jenis perawatan memiliki kelebihan dan kekurangannya sendiri serta ruang lingkup penerapannya. Ketika metode perawatan mencuci air, peralatannya murah dan sederhana, dan hanya dapat menangani gas yang larut dalam air; Kisaran aplikasi jenis pencucian air listrik lebih tinggi dari jenis pencucian air, tetapi biaya operasinya tinggi; Jenis kering memiliki efisiensi perawatan yang baik, dan tidak berlaku untuk aliran gas yang mudah dibungkus atau dialok.
Bahan kimia dan produk sampingannya yang biasa digunakan dalam industri semikonduktor dapat dikategorikan sesuai dengan sifat kimianya dan rentangnya yang berbeda:
1. Gas yang mudah terbakar seperti SIH4H2, dll.
2. Gas beracun seperti ash3, ph3, dll.
3. Gas korosif seperti HF, HCl, dll.
4. Gas rumah kaca seperti CF4, NF3, dll.
Karena keempat gas di atas berbahaya bagi lingkungan atau tubuh manusia, harus mencegah emisi langsungnya ke atmosfer, sehingga pabrik semikonduktor umum dipasang dengan sistem pengolahan gas buang terpusat besar, tetapi sistem ini hanya knalpot yang menggosok air, sehingga penerapannya terbatas pada proses gas yang larut dalam hal-hal yang akan terjadi. Oleh karena itu, perlu untuk memilih dan mencocokkan peralatan pengolahan gas buang yang sesuai sesuai dengan karakteristik gas yang berasal dari setiap proses untuk menyelesaikan masalah gas buang dengan cara yang kecil. Karena area kerja sebagian besar jauh dari sistem pengolahan gas buang pusat, seringkali karena karakteristik gas menyebabkan kristalisasi atau akumulasi debu dalam pipa, yang mengakibatkan penyumbatan pipa yang menyebabkan kebocoran gas, dan dalam kasus serius, bahkan menyebabkan ledakan, tidak dapat memastikan bahwa keselamatan kerja staf lokasi. Oleh karena itu, di area kerja perlu mengkonfigurasi peralatan pengolahan gas buang kecil yang cocok untuk karakteristik gas proses, untuk mengurangi gas buang yang stagnan di area kerja, untuk memastikan keamanan personel.
Waktu posting: AGUG-10-2023