1 | Max.tekanan kerja 20,6 Mpa. |
2 | Maks.suhu kerja 204 ℃ (Lingkungan suhu tinggi hingga 454 ℃, saat ini bahan penyegel diganti dengan grafit yang diperluas) |
3 | Sistem filter Polutan partikulat, gas, cairan dapat diterapkan. |
4 | Filter metalurgi serbuk stainless steel disinter filter akurasi 2μm ~ 40μm |
5 | Aliran filter 1x 10 -6~1×10-2L/mnt.cm2.pa |
6 | Penyaring dapat diubah. |
Fitur produk dari Filter
1 | Rentang aplikasi yang luas, rentang aliran dari 15 hingga 300SL / mnt. |
2 | Ini memiliki kompatibilitas yang baik dengan sebagian besar gas proses semikonduktor dengan kemurnian tinggi. |
3 | 3 kapasitas filtrasi nanopartikel mempertahankan efisiensi aliran tinggi dan penurunan tekanan sangat kecil. |
4 | Permukaan elektropolis 5Ra dapat mencegah polusi internal. |
5 | Panggang dengan nitrogen panas setelah air deionisasi untuk memenuhi standar proses semikonduktor. |
6 | Pembuatan, pembersihan, dan lingkungan pengemasan bengkel aseptik bebas debu 1000 tingkat. |
7 | Uji kebocoran helium 100%. |
Masuk | Toko | |
1 | Pemasangan tabung 1/8″ | Pemasangan tabung 1/8″ |
2 | pemasangan tabung 1/4″ | pemasangan tabung 1/4″ |
3 | Pemasangan tabung 3/8″ | Pemasangan tabung 3/8″ |
4 | Pemasangan pipa 1/2″ | Pemasangan pipa 1/2″ |
5 | Pemasangan tabung 6MM | Pemasangan tabung 6MM |
6 | Pemasangan tabung 8MM | Pemasangan tabung 8MM |
7 | Pemasangan tabung 10MM | Pemasangan tabung 10MM |
8 | Pemasangan tabung 12MM | Pemasangan tabung 12MM |
9 | 1/8″ NPT Wanita | 1/8″ NPT Wanita |
10 | 1/4″ NPT Wanita | 1/4″ NPT Wanita |
11 | 1/4″ NPT Pria | 1/4″ NPT Pria |
12 | 3/8″ NPT Pria | 3/8″ NPT Pria |
13 | 1/2″ NPT Pria | 1/2″ NPT Pria |
Parameter Performa Produk dari Filter
1 | Akurasi Penyaringan | ≥0,0025μm | |
2 | Efisiensi filtrasi | Tingkat penghapusan99,99999%≥0,0025μm | |
3 | aliran dinilai | 15L/Min | |
4 | 60L/Min | ||
5 | 120L/Min | ||
6 | 200L/Min | ||
7 | 300L/Min | ||
8 | Komposisi filter | elemen penyaring | 316L/PTFE |
9 | perumahan | baja tahan karat 316L | |
10 | Kondisi kerja | Tekanan masuk maksimum | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Tekanan diferensial maksimum | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Suhu operasi maksimum | 430℃(gas lembam) | |
13 | Tingkat kebocoran helium | 1×10-9 atm.cc/detik | |
14 | Permukaan akhir | ≤Ra 5μin |